Trong các thí nghiệm sau: (1) Cho SiO₂ tác dụng với axit HF. (2) Cho khí SO₂ tác dụng với khí H₂S. (3) Cho khí NH₃ tác dụng với CuO đun nóng. (4) Cho CaOCl₂ tác dụng với dung dịch HCl đặc. (5) Cho Si đơn chất tác dụng với dung dịch NaOH. (6) Cho khí O₃ tác dụng với Ag. (7) Cho dung dịch NH₄Cl tác dụng với dung dịch NaNO₂ đun nóng. Số thí nghiệm tạo ra đơn chất là