Trong các thí nghiệm sau:(1) Cho SiO2 tác dụng với axit HF. (2) Cho khí SO2 tác dụng với khí H2S.(3) Cho khí NH3 tác dụng với CuO đun nóng.(4) Cho CaOCl2 tác dụng với dung dịch HCl đặc.(5) Cho Si đơn chất tác dụng với dung dịch NaOH.(6) Cho khí O3 tác dụng với Ag.Số thí nghiệm tạo ra đơn chất là