Trong không gian với hệ tọa độ Oxyz, cho đường thẳng d: x2=y-31=z-21 và hai mặt phẳng (P): x-2y+2z=0. (Q): x-2y+3z-5=0. Mặt cầu (S) có tâm I là giao điểm của đường thẳng d và mặt phẳng (P). Mặt phẳng (Q) tiếp xúc với mặt cầu (S). Viết phương trình của mặt cầu (S).