Trong ba loại hạt tạo nên nguyên tử – proton, neutron và electron – hạt có khối lượng nhỏ nhất là electron.

Cụ thể, khối lượng của từng hạt như sau:
- Proton: khoảng 1,67 × 10^(-27) kg
- Neutron: khoảng 1,67 × 10^(-27) kg (tương đương với proton nhưng không giống nhau về tính điện)
- Electron: khoảng 9,11 × 10^(-31) kg

Như vậy, electron có khối lượng nhỏ hơn rất nhiều so với proton và neutron.