Chi tiết máy nói chung, và các sản phẩm chế tạo bằng xử lý bề mặt nói riêng, đều được trước hết đánh giá bằng tính chất hình học của lớp bề mặt (surface morphology). Tính chất hình học lớp bề mặt của chi tiết máy thể hiện qua độ nhẵn bóng, độ sáng khi quan sát bằng mắt thường. Tính chất hình học của lớp thể hiện chiều cao nhấp nhô, thể hiện diện tích bề mặt tiếp xúc của chi tiết với môi trường xung quanh. Do vậy, đánh giá tính chất hình học của vật liệu nhằm tìm các biện pháp điều chỉnh chúng phù hợp với các ứng dụng nhất định. Khi các bề mặt chi tiết cần sử dụng lắp ráp, tiếp xúc thì thường cần được chế tạo với độ nhẵn bóng cao; song khi sử dụng trong một số ứng dụng nhất định, như điện phân khí, thì chi tiết lại cần có bề mặt nhấp nhô cao, nhiều khe hở, xốp.