Để phân tích các số 63, 80, 180 và 420 ra thừa số nguyên tố, ta sẽ tìm các thừa số nguyên tố của từng số.

1. **Số 63**:
- 63 = 3 × 21
- 21 = 3 × 7
- Vậy, 63 = 3² × 7

2. **Số 80**:
- 80 = 8 × 10
- 8 = 2³; 10 = 2 × 5
- Vậy, 80 = 2³ × 2 × 5 = 2⁴ × 5

3. **Số 180**:
- 180 = 18 × 10
- 18 = 2 × 9; 9 = 3²; 10 = 2 × 5
- Vậy, 180 = 2 × 3² × 2 × 5 = 2² × 3² × 5

4. **Số 420**:
- 420 = 42 × 10
- 42 = 2 × 21; 21 = 3 × 7; 10 = 2 × 5
- Vậy, 420 = 2 × 3 × 7 × 2 × 5 = 2² × 3 × 5 × 7

Tóm lại, phân tích ra thừa số nguyên tố của các số là:
- 63 = 3² × 7
- 80 = 2⁴ × 5
- 180 = 2² × 3² × 5
- 420 = 2² × 3 × 5 × 7