Trong cùng một chu kì, bán kính nguyên tử giảm khi đi từ trái sang phải. Vì vậy, đối với 4 trong số 5 nguyên tử trên, bán kính nguyên tử tăng dần theo thứ tự : Cl, P, Al, Na.

Trong cùng một nhóm, bán kính nguyên tử tăng theo số thứ tự của chu kì nên bán kính nguyên tử của F nhỏ hơn bán kính của Cl.

Tóm lại, bán kính nguyên tử tăng theo thứ tự : F, Cl, P, Al, Na.